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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:氣體質(zhì)量流量計

  • 產(chǎn)品型號:CY-S48
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
氣體質(zhì)量流量計主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域;比如:擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設(shè)備中。
詳情介紹:

氣體質(zhì)量流量計全稱為質(zhì)量流量控制器,英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC),主要由:流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域;比如:擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設(shè)備中。其主要特點:

 1、可以任意角度安裝

 2、良好的線性——多段線性補償

 3、快速的響應(yīng)速度,穩(wěn)定度高,重復性好。

 4、電磁閥使用壽命≥100萬次

 5、對零點漂移有效的控制

 6、傳感器、分流器、精密元器件日本進口

產(chǎn)品名稱

氣體質(zhì)量流量計

流量范圍

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)

常閉

安裝角度

任意

流量控制范圍

2%~100%

流量測量范圍

0~100%

響應(yīng)時間

2s(T98,設(shè)定值的±2% F.S.)

工作環(huán)境溫度

5℃~50℃

精度保證溫度

15℃~35℃

精度

±1.0%F.S.

線性精度

±0.5%F.S.

重復性

±0.2%F.S.

工作壓差

~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)

耐壓

3MPa

泄漏率

1×10-8 Pa?m3/s (He)

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

管路接頭

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

供電電源

±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA

+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供電時)

設(shè)定信號

(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

流量輸出信號

(0~5)VDC 負載能力≤3mA

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

重量(kg)

0.9

 

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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