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旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)功能介紹

日期:2025-06-04 19:09
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摘要:
旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)功能介紹
  旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)是一種用于工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科領(lǐng)域的計(jì)量儀器,于2014年12月12日啟用。
技術(shù)指標(biāo)
  旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)可以自動定量滴加光刻膠(支持的光刻膠年度在10cp-500cp),也可以實(shí)驗(yàn)手動滴加光刻膠;勻膠的時(shí)間可以在0.1s到999s范圍內(nèi)調(diào)整且連續(xù);滿足旋涂3mm到150mm直徑范圍的樣品;穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速范圍可在50轉(zhuǎn)/分到8000轉(zhuǎn)/分,加速范圍從50rpm/s到4000rpm/s;膜厚的均勻性在2%(Resist AZ5214E,1um)。
主要功能
  旋轉(zhuǎn)勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,需要旋涂的基片和的旋涂膠液間的粘滯系數(shù)不同,厚度也會有所不同,同時(shí)旋涂的時(shí)間和轉(zhuǎn)速也會對厚度有不同的影響。

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